三氯氢硅 机硅化合物 多晶硅 SiHCl3
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三氯氢硅（Trichlorosilane，化学式：SiHCl₃）是一种无色透明、易挥发的液体，具有刺鼻的气味，遇水反应生成盐酸和硅氧烷。溶于苯、乙醚、庚烷等多数有机溶剂，制造多晶硅原材料，制备苯基氯硅烷、乙烯基氯硅烷等特种硅烷。
